Estudo por microscopia eletronica de transmissao (MET) do recozimento de defeitos residuais em camadas de silicio recristalizadas

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: SANTOS, J.T.
Data de Publicação: 2014
Outros Autores: HASENACK, C.M., MONTEIRO, W.A., 13o. COLOQUIO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROSCOPIA ELETRONICA
Tipo de documento: Artigo de conferência
Texto Completo: http://repositorio.ipen.br:8080/xmlui/handle/123456789/21668
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title Estudo por microscopia eletronica de transmissao (MET) do recozimento de defeitos residuais em camadas de silicio recristalizadas
author SANTOS, J.T.
author2 HASENACK, C.M.
MONTEIRO, W.A.
13o. COLOQUIO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROSCOPIA ELETRONICA
topic silicon
transmission electron microscopy
publishDate 2014
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