Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo

Detalhes bibliográficos
Data de Publicação: 2016
Tipo de documento: Tese
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=3781120
id BRCRIS_4601d28b827adcc956127e16ad8928d7
network_acronym_str CAPES
network_name_str Portal de Dados Abertos da CAPES
dc.title.pt-BR.fl_str_mv Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
title Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
spellingShingle Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
Electroluminescence. Silicon nitride. Reactive sputtering.
Eletroluminescência. Nitreto de silício. Sputtering reativo.
title_short Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
title_full Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
title_fullStr Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
title_full_unstemmed Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
title_sort Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativo
topic Electroluminescence. Silicon nitride. Reactive sputtering.
Eletroluminescência. Nitreto de silício. Sputtering reativo.
publishDate 2016
format doctoralThesis
url https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=3781120
author_role author
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv HENRI IVANOV BOUDINOV
dc.publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SUL
publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SUL
instname_str UNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SUL
dc.publisher.program.fl_str_mv MICROELETRÔNICA
dc.description.course.none.fl_txt_mv MICROELETRÔNICA
reponame_str Portal de Dados Abertos da CAPES
collection Portal de Dados Abertos da CAPES
spelling CAPESPortal de Dados Abertos da CAPESFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoFoto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputtering reativoElectroluminescence. Silicon nitride. Reactive sputtering.2016doctoralThesishttps://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=3781120authorHENRI IVANOV BOUDINOVUNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SULUNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SULUNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO GRANDE DO SULMICROELETRÔNICAMICROELETRÔNICAPortal de Dados Abertos da CAPESPortal de Dados Abertos da CAPES
_version_ 1741888217326551040

Registros relacionados