Estudo de transistores SOI MOS de perfil trapezoidal através de simulação numérica tridimensional

• Autor(a) principal: Martins, Luiz Gustavo Pereira
• Data de Publicação: 2008
• Tipo de documento: Dissertação
• Idioma: por
• Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da FEI
• Texto Completo: https://repositorio.fei.edu.br/handle/FEI/398
• topic: Transistores

Os dispositivos SOI MOS de múltiplas portas estão entre os transistores não planares de melhor desempenho, uma vez que, ao possuir o canal envolvido por mais de uma porta é maior o controle sobre as cargas no interior do canal, minimizando os efeitos causados pela redução das dimensões (escalamento). No processo de fabricação destes dispositivos podem ocorrer variações geométricas que eventualmente influenciam seu funcionamento elétrico. Neste trabalho é apresentado um estudo das características elétricas de dispositivos de portas triplas, não planares, construídos sobre substratos SOI, quando submetidos a variações geométricas de inclinação das paredes laterais e da variação de concentração de dopantes na região ativa. Foi executada uma série de simulações numéricas tridimensionais com o intuito de levantar as curvas características de corrente versus tensão dos dispositivos. A partir das curvas resultantes, foram determinadas as tensões de limiar (VTh), inclinações de sublimiar (S),transcondutâncias (gm) e condutâncias de dreno (gd). Os resultados obtidos mostraram que tanto o ângulo de inclinação das paredes laterais, como a concentração de dopantes no silício influem diretamente no desempenho dos transistores. Além da análise dos parâmetros elétricos obtidos através de simulações numéricas, também é apresentada uma extensão do modelo analítico tradicional de corrente de dreno, aplicável diretamente a transistores de paredes inclinadas. Trata-se de uma expressão fechada da corrente em função do ângulo e da polarização, para a região de saturação. O modelo é verificado comparando-se sua saída com dados de simulação.