Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2001 |
Outros Autores: | , , , |
Tipo de documento: | Artigo de conferência |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFRGS |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/10183/76946 |
Resumo: | 016 |
id |
UFRGS-2_db924d07337974eb00cdefe20d22c113 |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:www.lume.ufrgs.br:10183/76946 |
network_acronym_str |
UFRGS-2 |
network_name_str |
Repositório Institucional da UFRGS |
repository_id_str |
|
spelling |
Vassoler, Jakson ManfrediniFranzner, SavioIturrioz, IgnacioFonseca, Jun Sergio OnoRibas, Renato PerezSalão de iniciação Científica (13. : 2001 out. 22-26 : UFRGS, Porto Alegre, RS).2013-08-13T01:47:02Z2001http://hdl.handle.net/10183/76946000317009application/pdfporSalão de Iniciação Científica (13. : 2001 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2001.Engenharia – Simulação e Modelagem IEngenhariasEngenharia mecânicaEstudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)info:eu-repo/semantics/conferenceObjectinfo:eu-repo/semantics/otherinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion016info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional da UFRGSinstname:Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)instacron:UFRGSORIGINAL000317009.pdf000317009.pdfResumoapplication/pdf10105http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/1/000317009.pdf907a097f0bb32e911fece016eb9e3b4bMD51TEXT000317009.pdf.txt000317009.pdf.txtExtracted Texttext/plain1362http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/2/000317009.pdf.txtdade3354c85251d471f5b038f0abb830MD52THUMBNAIL000317009.pdf.jpg000317009.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1093http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/3/000317009.pdf.jpg56413ee5a010d52583fd7f3d2a974002MD5310183/769462018-10-17 09:14:52.259oai:www.lume.ufrgs.br:10183/76946Repositório de PublicaçõesPUBhttps://lume.ufrgs.br/oai/requestopendoar:2018-10-17T12:14:52Repositório Institucional da UFRGS - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)false |
dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
title |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
spellingShingle |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) Vassoler, Jakson Manfredini Engenharias Engenharia mecânica Engenharia – Simulação e Modelagem I |
title_short |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
title_full |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
title_fullStr |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
title_full_unstemmed |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
title_sort |
Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS) |
author |
Vassoler, Jakson Manfredini |
author_facet |
Vassoler, Jakson Manfredini Franzner, Savio Iturrioz, Ignacio Fonseca, Jun Sergio Ono Ribas, Renato Perez |
author_role |
author |
author2 |
Franzner, Savio Iturrioz, Ignacio Fonseca, Jun Sergio Ono Ribas, Renato Perez |
author2_role |
author author author author |
dc.contributor.event.pt_BR.fl_str_mv |
Salão de iniciação Científica (13. : 2001 out. 22-26 : UFRGS, Porto Alegre, RS). |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Vassoler, Jakson Manfredini Franzner, Savio Iturrioz, Ignacio Fonseca, Jun Sergio Ono Ribas, Renato Perez |
dc.subject.cnpq.fl_str_mv |
Engenharias |
topic |
Engenharias Engenharia mecânica Engenharia – Simulação e Modelagem I |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Engenharia mecânica |
dc.subject.session.pt_BR.fl_str_mv |
Engenharia – Simulação e Modelagem I |
description |
016 |
publishDate |
2001 |
dc.date.issued.fl_str_mv |
2001 |
dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2013-08-13T01:47:02Z |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/conferenceObject info:eu-repo/semantics/other |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
format |
conferenceObject |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
http://hdl.handle.net/10183/76946 |
dc.identifier.nrb.pt_BR.fl_str_mv |
000317009 |
url |
http://hdl.handle.net/10183/76946 |
identifier_str_mv |
000317009 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.relation.ispartof.pt_BR.fl_str_mv |
Salão de Iniciação Científica (13. : 2001 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2001. |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional da UFRGS instname:Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) instacron:UFRGS |
instname_str |
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) |
instacron_str |
UFRGS |
institution |
UFRGS |
reponame_str |
Repositório Institucional da UFRGS |
collection |
Repositório Institucional da UFRGS |
bitstream.url.fl_str_mv |
http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/1/000317009.pdf http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/2/000317009.pdf.txt http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/76946/3/000317009.pdf.jpg |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
907a097f0bb32e911fece016eb9e3b4b dade3354c85251d471f5b038f0abb830 56413ee5a010d52583fd7f3d2a974002 |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional da UFRGS - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) |
repository.mail.fl_str_mv |
|
_version_ |
1801224799267061760 |