Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Thim, Gilmar Patrocinio
Data de Publicação: 1988
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159
Resumo: Orientador : Vitor Baranauskas
id UNICAMP-30_2edb6e29bc677f9002053331791264a4
oai_identifier_str oai::52237
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de HeneSilícioFotolitografiaSemicondutoresOrientador : Vitor BaranauskasDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: Neste trabalho apresentamos uma técnica para a abertura de janelas no silício monocristalino tipo N com avaliação da profundidade de ataque em tempo real , baseado na reação fotoinduzida do silício com HFaq quando excitado por um laser de HeNe de 0,8 mW de potência atuando com o comprimento de onda de 6328 A. É apresentado também todo o modelamento matemático da cinética de ataque em termos de parâmetros físicos , entre eles o tempo de exposição, corrente total e a potência do laserAbstract: Not informed.MestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Baranauskas, Vitor, 1952-2014Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia ElétricaPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASThim, Gilmar Patrocinio19881988-06-14T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf96f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159THIM, Gilmar Patrocinio. Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene. 1988. 96f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/52237porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-18T00:09:06Zoai::52237Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-18T00:09:06Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
title Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
spellingShingle Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
Thim, Gilmar Patrocinio
Silício
Fotolitografia
Semicondutores
title_short Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
title_full Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
title_fullStr Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
title_full_unstemmed Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
title_sort Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene
author Thim, Gilmar Patrocinio
author_facet Thim, Gilmar Patrocinio
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Baranauskas, Vitor, 1952-2014
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Thim, Gilmar Patrocinio
dc.subject.por.fl_str_mv Silício
Fotolitografia
Semicondutores
topic Silício
Fotolitografia
Semicondutores
description Orientador : Vitor Baranauskas
publishDate 1988
dc.date.none.fl_str_mv 1988
1988-06-14T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv (Broch.)
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159
THIM, Gilmar Patrocinio. Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene. 1988. 96f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159. Acesso em: 2 set. 2024.
identifier_str_mv (Broch.)
THIM, Gilmar Patrocinio. Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene. 1988. 96f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/52237
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
96f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188744556707840

Registros relacionados