Helium ion irradiation of polymer films deposited from TMS-Ar plasmas

Bibliographic Details
Main Author: Gelamo, Rogério Valentim, 1975-
Publication Date: 2007
Other Authors: Trasferetti, Benedito Cláudio, 1971-, Davanzo, Celso Ulysses, 1945-, Rouxinol, Francisco, 1977-, Moraes, Mário Antônio Bica de, 1939-
Format: Article
Download full: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1666399
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title Helium ion irradiation of polymer films deposited from TMS-Ar plasmas
author Gelamo, Rogério Valentim, 1975-
author2 Trasferetti, Benedito Cláudio, 1971-
Davanzo, Celso Ulysses, 1945-
Rouxinol, Francisco, 1977-
Moraes, Mário Antônio Bica de, 1939-
topic Dureza
Polimerização em plasma
Hardness
Plasma polymerization
Infrared reflection-absorption spectroscopy
Ion irradiation
Rutherford backscattering spectroscopy
Tetramethylsilane
Artigo original
publishDate 2007
format article
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