Helium ion irradiation of polymer films deposited from TMS-Ar plasmas

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Gelamo, Rogério Valentim, 1975-
Data de Publicação: 2007
Outros Autores: Trasferetti, Benedito Cláudio, 1971-, Davanzo, Celso Ulysses, 1945-, Rouxinol, Francisco, 1977-, Moraes, Mário Antônio Bica de, 1939-
Tipo de documento: Artigo
Título da fonte: Repositório da Produção Científica e Intelectual da Unicamp
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1666399
Resumo: Agradecimentos: We thank the Brazilian agencies: Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP, grant nr. 03/12775-5), Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico (CNPq), Comissão de Aperfeiçoamento do Pessoal de Nível Superior (CAPES) and Fundação para o Desenvolvimento da UNESP (FUNDUNESP) for financial support. Thanks are also due to: the Centro de Componentes Semicondutores (CCS) for the use of the ion implanter, and to Mr. J. E. C. Queiroz for technical assistance, to the Laboratory for the Analysis of Materials by Ion Beams for the RBS measurements and to Dr. M. B. Dupret for data acquisition, as well as to Prof. F. Alvarez and Dr. F. Zagonel for the nanoindentation experiments
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