Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Carvalho, José Wilson Camilher
Data de Publicação: 1980
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578066
Resumo: Orientador: Mauricio Prates de Campos Filho
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spelling Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronicoSilícioOrientador: Mauricio Prates de Campos FilhoDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de CampinasResumo: Este trabalho apresenta a pesquisa sobre os processos de obtenção e purificação de Triclorosilano (SiHCL3) utilizando-se como matéria prima Silício Metalúrgico nacional. O Triclorosilano se constitui na matéria prima fundamental para a obtenção de Silício de Grau Eletrônico ¿Observação: O resumo, na íntegra poderá ser visualizado no texto completo da tese digital.Abstract: In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations.MestradoMestre em Ciências[s.n.]Campos Filho, Maurício Prates de, 1938-2014Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de CampinasPrograma de Pós-Graduação em CiênciasUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASCarvalho, José Wilson Camilher1980info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf95 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578066CARVALHO, José Wilson Camilher. Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico. 1980. 95 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578066. Acesso em: 7 mai. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/48409porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2017-02-18T02:04:33Zoai::48409Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2017-02-18T02:04:33Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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