Gravações de microestruturas atraves de ataque fotoeletroquimico de fosfeto de indio

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Soltz, David
Data de Publicação: 1995
Tipo de documento: Tese
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1582952
Resumo: Orientadores: Marco-Aurelio De Paoli, Lucila Cescato
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