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1
Fabrication of a MEMS micromirror based on bulk silicon micromachining combined with grayscale lithography
por
Garcia, Ines S.
Publicado em 2020
Outros Autores:
“
...
Dias
,
Rosana
Maria
Alves
...
”
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2
Highly sensitive MEMS frequency modulated accelerometer with small footprint
por
Esteves Moreira, Eurico
Publicado em 2020
Outros Autores:
“
...
Dias
,
Rosana
Maria
Alves
...
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