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1
Stabilization of higher-k tetragonal HfO/sub 2/ by SiO/sub 2/ admixture enabling thermally stable metal-insulator-metal capacitors
por
Böscke, Tim S.
Publicado em 2007
Outros Autores:
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...
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2
Hydrogen and deuterium incorporation and transport in hafnium-based dielectric films on silicon
por
Pezzi, Rafael Peretti
Publicado em 2004
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