Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Gonçalves, L. M.
Data de Publicação: 2007
Outros Autores: Alpuim, P., Filonovich, Sergej, Viseu, T. M. R., Lanceros-Méndez, S.
Tipo de documento: Artigo
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/1822/8388
id RCAP_a1cc0c7540d3fae540c2f4ab9b3a9307
oai_identifier_str oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/8388
network_acronym_str RCAP
network_name_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository_id_str
spelling Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranesSiliconNitrideUniversidade do MinhoGonçalves, L. M.Alpuim, P.Filonovich, SergejViseu, T. M. R.Lanceros-Méndez, S.2007-04-012007-04-01T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/articleapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/1822/8388porCONFERENCE OF SOCIEDADE PORTUGUESA DE MATERIAIS,13, Porto, 2007 – “Materiais 2007 : abstracts”. Porto : Faculdade de Engenharia, 2007. ISBN 978-972-8953-15-7.978-972-8953-15-7info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2023-07-21T12:14:14ZPortal AgregadorONG
dc.title.none.fl_str_mv Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
title Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
spellingShingle Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
Gonçalves, L. M.
Silicon
Nitride
title_short Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
title_full Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
title_fullStr Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
title_full_unstemmed Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
title_sort Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
author Gonçalves, L. M.
author_facet Gonçalves, L. M.
Alpuim, P.
Filonovich, Sergej
Viseu, T. M. R.
Lanceros-Méndez, S.
author_role author
author2 Alpuim, P.
Filonovich, Sergej
Viseu, T. M. R.
Lanceros-Méndez, S.
author2_role author
author
author
author
dc.contributor.none.fl_str_mv Universidade do Minho
dc.contributor.author.fl_str_mv Gonçalves, L. M.
Alpuim, P.
Filonovich, Sergej
Viseu, T. M. R.
Lanceros-Méndez, S.
dc.subject.por.fl_str_mv Silicon
Nitride
topic Silicon
Nitride
publishDate 2007
dc.date.none.fl_str_mv 2007-04-01
2007-04-01T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://hdl.handle.net/1822/8388
url http://hdl.handle.net/1822/8388
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv CONFERENCE OF SOCIEDADE PORTUGUESA DE MATERIAIS,13, Porto, 2007 – “Materiais 2007 : abstracts”. Porto : Faculdade de Engenharia, 2007. ISBN 978-972-8953-15-7.
978-972-8953-15-7
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron:RCAAP
instname_str Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron_str RCAAP
institution RCAAP
reponame_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
collection Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository.name.fl_str_mv
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1777303711515672576

Registros relacionados