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1
Processos alternativos para micro e nanotecnologia
por
Biasotto
,
Cleber
Publicado em 2012
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Tese
2
Obtenção e caracterização de filmes finos de oxido, nitreto e oxinitreto de silicio por deposição ECR-CVD
por
Biasotto
,
Cleber
Publicado em 2005
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Dissertação
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