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1
Al2O3 ultra-thin films deposited by PEALD for rubidium optically pumped atomic magnetometers with on-chip photodiode
por
Cunha
,
Florival
Moura
Publicado em 2023
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Artigo
2
Montagem e instalação de um sistema de deposição de camadas atómicas (ALD) e deposição de filmes de Al₂O₃ e SiO₂ para diferentes aplicações
por
Cunha
,
Florival
Moura
da
Publicado em 2023
Acessar documento
Dissertação
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