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Competing influence of damage buildup and lattice vibrations on ion range profiles in Si
por
Posselt
,
Matthias
Publicado em 2003
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2
Cu gettering in ion implanted and annealed silicon in regions before and beyond the mean projected ion range
por
Kögler, R.
Publicado em 2003
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...
Posselt
,
Matthias
...
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