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Ultra-short pulse HiPIMS: a strategy to suppress arcing during reactive deposition of SiO2 thin films with enhanced mechanical and optical properties
por
Tiron, Vasile
Publicado em 2020
Outros Autores:
“
...
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,
Ioana
-
Laura
...
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2
Tantalum-titanium oxynitride thin films deposited by DC reactive magnetronic co-sputtering: mechanical, optical, and electrical characterization
por
Cristea, Daniel
Publicado em 2022
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