Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering

Detalhes bibliográficos
Data de Publicação: 2020
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: <a href="https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=9291587"/>
id BRCRIS_06fe9ed893ca3ced4508069e8106eea0
network_acronym_str CAPES
network_name_str Portal de Dados Abertos da CAPES
dc.title.pt-BR.fl_str_mv Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
title Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
spellingShingle Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
magnetron sputtering
title_short Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
title_full Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
title_fullStr Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
title_full_unstemmed Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
title_sort Influência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputtering
topic magnetron sputtering
publishDate 2020
format masterThesis
url <a href="https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=9291587"/>
author_role author
dc.publisher.none.fl_str_mv PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁ
publisher.none.fl_str_mv PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁ
instname_str PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁ
dc.publisher.program.fl_str_mv ENGENHARIA MECÂNICA
dc.description.course.none.fl_txt_mv ENGENHARIA MECÂNICA
reponame_str Portal de Dados Abertos da CAPES
collection Portal de Dados Abertos da CAPES
spelling CAPESPortal de Dados Abertos da CAPESInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron SputteringInfluência da Temperatura de Deposição nas Propriedades de Filmes Finos de Nitreto de Alumínio Obtidos por Magnetron Sputteringmagnetron sputtering2020masterThesis<a href="https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=9291587"/>authorPONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁPONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁPONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO PARANÁENGENHARIA MECÂNICAENGENHARIA MECÂNICAPortal de Dados Abertos da CAPESPortal de Dados Abertos da CAPES
_version_ 1741888052629864448

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