Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada .

Detalhes bibliográficos
Data de Publicação: 2012
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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Métodos de fabricação em microeletrônica Óptica integrada
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