Produção e caracterização de filmes de DLC:SiOx a partir de misturas gasosas de hidrocarbonetos com silano e óxido nitroso

Detalhes bibliográficos
Data de Publicação: 2013
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=677571
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