Películas de Silício Microcristalino Hidrogenado Depositadas a Baixa Temperatura pela Técnica PECVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Ely Antonio Tadeu Dirani
Data de Publicação: 1998
Tipo de documento: Tese
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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