Propriedades Químicas e Estruturais de Filmes Finos de a SiC:H Depositados por PECVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Jones Willian Soares de Queiroz
Data de Publicação: 2010
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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