AVALIAÇÃO DA INFLUÊNCIA DO FLUXO TOTAL DE NITROGÊNIO E HIDROGÊNIO SOBRE AS PROPRIEDADES FÍSICAS DOS FILMES FINOS DE NITRETO DE TITÂNIO DEPOSITADOS POR PLASMA COM USO DE GAIOLA CATÓDICA
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Data de Publicação: | 2017 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Título da fonte: | Portal de Dados Abertos da CAPES |
Texto Completo: | https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=5012466 |
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AVALIAÇÃO DA INFLUÊNCIA DO FLUXO TOTAL DE NITROGÊNIO E HIDROGÊNIO SOBRE AS PROPRIEDADES FÍSICAS DOS FILMES FINOS DE NITRETO DE TITÂNIO DEPOSITADOS POR PLASMA COM USO DE GAIOLA CATÓDICA Gaiola catódica. Propriedades físicas. Nitreto de titânio. Fluxo total. Cathodic cage. Physical properties. Titanium nitride. Full flow. ANA LUIZA DE CASTRO |
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