A compact eigth-terminal piezotransducer for stress measurements in silicon
| Autor(a) principal: | |
|---|---|
| Data de Publicação: | 2016 |
| Outros Autores: | |
| Tipo de documento: | Artigo |
| Texto Completo: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/9483 |
| id |
CAMP_6e5363775469f5865e4bacaa0b0eebf3 |
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| oai_identifier_str |
oai:https://www.repositorio.unicamp.br/:1167700 |
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Repositório da Produção Científica e Intelectual da Unicamp |
| title |
A compact eigth-terminal piezotransducer for stress measurements in silicon |
| author |
Ramirez Bohorquez, Jose Luis, 1986- |
| author2 |
Fruett, Fabiano, 1970- |
| topic |
Silício Circuitos integrados Silicon Integrated circuits Piezoresistance Artigo de evento |
| publishDate |
2016 |
| format |
article |
| url |
https://hdl.handle.net/20.500.12733/9483 |
| instname_str |
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
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UNICAMP |