Microusinagem de diel??tricos com pulsos laser de femtossegundos
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Data de Publicação: | 2012 |
Tipo de documento: | Tese |
Título da fonte: | Repositório Institucional do IPEN |
Texto Completo: | http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10119 |
Resumo: | Neste trabalho foi utilizado o m??todo de regress??o do di??metro para a medida do limiar de abla????o nos materiais Suprasil, BK7, Safira e Ti:Safira por pulsos de femtossegundos. Atrav??s de medidas dos limiares de abla????o para pulsos ??nicos e pulsos sobrepostos, quantificou-se o par??metro de incuba????o para cada diel??trico. Essas medidas preliminares serviram para valida????o do m??todo denominado Diagonal Scan ou D-scan. Para tanto, o m??todo D-scan teve seu formalismo expandido o que possibilitou a quantifica????o da sobreposi????o de pulsos durante o seu uso. A simplicidade e rapidez do m??todo D-scan permitiram que o limiar de abla????o no BK7 fosse medido para diferentes larguras temporais e sobreposi????es. O limiar de abla????o para pulsos ??nicos em fun????o da largura temporal dos pulsos foi comparado com uma simula????o te??rica. A partir do conhecimento do par??metro de incuba????o desenvolveu-se uma metodologia de usinagem em diel??tricos que considera a sobreposi????o de pulsos durante a abla????o. Isso permitiu a fabrica????o de microcanais para uso em microflu??dica em BK7. |
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