Fabrication of Pb/PbTe nanowire-based Josephson junctions: etching optimization
Autor(a) principal: | |
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Data de Publicação: | 2022 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | eng |
Título da fonte: | Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/10362/138702 |
Resumo: | O telureto de chumbo (PbTe) é um material do grupo IV-VI com propriedades muito interessantes para aplicações de tecnologia quântica. Possuir uma elevada interação spin-órbita e um grande factor g de Landé torna este semicondutor um candidato promissor para que seja induzida supercondutividade topológica. O chumbo (Pb) é um material que exibe supercondutividade a temperaturas relativamente altas (Tc = 7.2K) com um elevado hiato supercondutor e campo magnético crítico. Uma interface imaculada entre Pb e PbTe pode ser criada de modo que supercondutividade seja induzida na interface. Nanofios de PbTe monocristalinos foram crescidos por epitaxia de feixe molecular (MBE), seguido por uma deposição por evaporação térmica lateral in-situ de Pb. Foi feita uma passivação da camada de Pb, também sem quebrar o vácuo. Este trabalho tem como foco a otimização de experimentos de erosão para remover controladamente uma secção da camada de Pb epitaxialmente crescida no nanofio de PbTe, sem danificar o nanofio, com o objetivo de fabricar uma junção de Josephson. Conforme já demonstrado na literatura, com nanofios de arseneto de índio, a erosão húmida com água ultra pura (UPW) é um método seletivo, proporcionando a remoção completa da camada de Pb, sem danos visíveis ao nanofio. Neste trabalho foram usados métodos de erosão húmida (com UPW) e seca. A erosão a seco foi feita com iões de árgon, não demonstrou seletividade como esperado, e uma posterior otimização do processo é necessária. Para retirar apenas uma secção do Pb, foi utilizada uma máscara de polimetilmetacrilato (PMMA) sobre os nanofios, padronizada por litografia por feixe de eletrões, de forma que apenas a parte a ser erodida fosse exposta ao método (UPW ou Ar+). Imagens de microscopia eletrónica de varrimento (SEM) revelaram que, em ambos experimentos de erosão húmida e seca, toda a camada supercondutora de Pb foi danificada. Em um trabalho paralelo, dispositivos de efeito de campo de Pb/PbTe não erodidos foram fabricados para medir as características de transporte dependentes da temperatura, desde a temperatura ambiente até abaixo da TC do Pb, e não exibiram o comportamento metálico e supercondutividade esperados. Imagens de SEM dos dispositivos também mostraram danos na camada de Pb. Resultados posteriores revelaram que o isopropanol, possivelmente devido à sua natureza higroscópica, foi a causa do dano visto na camada de Pb ao longo do projeto. Desidratar o isopropanol ou removê-lo da fabricação poderá evitar os danos vistos na camada de Pb. |
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Fabrication of Pb/PbTe nanowire-based Josephson junctions: etching optimizationJosephson junctionsuperconductivitynanowireetchingleadlead-tellurideDomínio/Área Científica::Engenharia e Tecnologia::NanotecnologiaO telureto de chumbo (PbTe) é um material do grupo IV-VI com propriedades muito interessantes para aplicações de tecnologia quântica. Possuir uma elevada interação spin-órbita e um grande factor g de Landé torna este semicondutor um candidato promissor para que seja induzida supercondutividade topológica. O chumbo (Pb) é um material que exibe supercondutividade a temperaturas relativamente altas (Tc = 7.2K) com um elevado hiato supercondutor e campo magnético crítico. Uma interface imaculada entre Pb e PbTe pode ser criada de modo que supercondutividade seja induzida na interface. Nanofios de PbTe monocristalinos foram crescidos por epitaxia de feixe molecular (MBE), seguido por uma deposição por evaporação térmica lateral in-situ de Pb. Foi feita uma passivação da camada de Pb, também sem quebrar o vácuo. Este trabalho tem como foco a otimização de experimentos de erosão para remover controladamente uma secção da camada de Pb epitaxialmente crescida no nanofio de PbTe, sem danificar o nanofio, com o objetivo de fabricar uma junção de Josephson. Conforme já demonstrado na literatura, com nanofios de arseneto de índio, a erosão húmida com água ultra pura (UPW) é um método seletivo, proporcionando a remoção completa da camada de Pb, sem danos visíveis ao nanofio. Neste trabalho foram usados métodos de erosão húmida (com UPW) e seca. A erosão a seco foi feita com iões de árgon, não demonstrou seletividade como esperado, e uma posterior otimização do processo é necessária. Para retirar apenas uma secção do Pb, foi utilizada uma máscara de polimetilmetacrilato (PMMA) sobre os nanofios, padronizada por litografia por feixe de eletrões, de forma que apenas a parte a ser erodida fosse exposta ao método (UPW ou Ar+). Imagens de microscopia eletrónica de varrimento (SEM) revelaram que, em ambos experimentos de erosão húmida e seca, toda a camada supercondutora de Pb foi danificada. Em um trabalho paralelo, dispositivos de efeito de campo de Pb/PbTe não erodidos foram fabricados para medir as características de transporte dependentes da temperatura, desde a temperatura ambiente até abaixo da TC do Pb, e não exibiram o comportamento metálico e supercondutividade esperados. Imagens de SEM dos dispositivos também mostraram danos na camada de Pb. Resultados posteriores revelaram que o isopropanol, possivelmente devido à sua natureza higroscópica, foi a causa do dano visto na camada de Pb ao longo do projeto. Desidratar o isopropanol ou removê-lo da fabricação poderá evitar os danos vistos na camada de Pb.Lead telluride (PbTe) is a group IV-VI material with very interesting properties for quantum technology applications. Having a high spin-orbit interaction and large Landé g-factor makes this sem- iconductor a promising candidate for inducing topological superconductivity. Lead (Pb) is a metal that exhibits superconductivity at relatively high temperatures (TC = 7.2 K), with a large superconducting gap and high critical magnetic field. A pristine interface between Pb and PbTe can be created so that superconductivity by proximity is induced at the interface. Single crystalline PbTe nanowires were grown by molecular beam epitaxy, followed by an in-situ lateral deposition by thermal evaporation of Pb. Passivation of the Pb layer occurred without breaking vacuum. This work focuses on optimization of etching experiments to controllably create a trench on the Pb layer epitaxially grown on PbTe nan- owire, without damaging the PbTe nanowire, to fabricate a Josephson junction. As previously shown in the literature, with indium arsenide nanowires, wet etching with ultra-pure water (UPW) is a selective method, providing complete removal of the Pb layer, without visible damage to the nanowire. Here, wet etching (UPW) and dry etching methods were used. Dry etching with argon ions showed no selec- tivity, as expected, and further optimization of the process is still required. To remove only a section of the Pb, a polymethyl methacrylate (PMMA) mask was used over the wires and was patterned by elec- tron beam lithography, so that only the part to be etched was exposed to an etchant (UPW or Ar+). Scanning electron microscopy (SEM) images revealed that in both wet and dry etching experiments all the superconducting Pb layer was damaged during the process. In parallel work, unetched Pb/PbTe field-effect devices were fabricated in order to measure low-temperature transport characteristics of the devices and also superconductivity in the Pb layer. Temperature-dependent transport characteristics of the devices from room temperature down to below TC of Pb did not display the expected metallic be- havior and superconductivity. SEM images of the unetched devices also showed a damaged Pb layer. Posterior results revealed that isopropanol, possibly due to its hygroscopic nature, was the cause for the damage seen in the Pb layer throughout the project. Dehydrating isopropanol or removing it from fab- rication could prevent the damage seen on the Pb layer.Bakkers, ErikBarquinha, PedroRUNWscieklica, Amanda Sanson2022-05-26T16:57:16Z2022-022022-02-01T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/10362/138702enginfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2024-03-11T05:16:02Zoai:run.unl.pt:10362/138702Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openaireopendoar:71602024-03-20T03:49:11.321498Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãofalse |
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