Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Costa, Liliana Sameiro Monteiro da
Data de Publicação: 2009
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/1822/10797
Resumo: Dissertação de mestrado em Física (Formação Contínua de Professores)
id RCAP_3d5caadb76463035f8cf8ced40998b28
oai_identifier_str oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/10797
network_acronym_str RCAP
network_name_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository_id_str 7160
spelling Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão538.9Dissertação de mestrado em Física (Formação Contínua de Professores)Dispositivos de memória flash que utilizam nanopartículas de silício/germânio para o armazenamento de carga têm vindo a receber especial atenção nos últimos anos devido ao seu excelente desempenho, elevada capacidade de memória e miniaturização. A técnica de deposição por laser pulsado é especialmente adequada para o crescimento de filmes finos de elevada qualidade e para a produção de partículas de tamanho nanométrico para estes dispositivos de memória flash. Integrar estes materiais nos dispositivos requer a formação de nanopartículas e camadas de óxido com estequiometria, dimensões e homogeneidade controladas. Neste contexto, a emissão óptica do plasma é uma técnica conveniente para monitorizar in situ e em tempo real a evolução da composição da pluma de plasma induzida e a cinética das espécies. Neste trabalho é apresentado um sistema de espectroscopia óptica de emissão para estudar as plumas induzidas durante a ablação por laser pulsado de alvos de silício e de germânio. Foi possível estudar a evolução da composição da pluma em função da distância, pressão do gás e da energia do pulso de laser. Os resultados mostram a presença de átomos de Si/Ge excitados e iões monopositivos de Si/Ge. A partir da informação espectroscópica, determinou-se a temperatura e densidade electrónica na pluma observando-se uma diminuição de ambas com a distância ao alvo.Flash memory devices that use Si/Ge nanoparticles for charge storage began to receive considerable attention in recent years due to their excellent performance, high capacity of memory and miniaturization. Pulsed laser deposition techniques are especially suitable to grow the high quality multicomponent thin films and nanometer size particles for these flash memory devices. In order to integrate these materials into devices, formation of nanoparticles and oxide layers with controlled stoichiometry, dimensions and homogeneity are required. In this context, plasma optical emission is a convenient technique to monitor in situ and in real time the evolution of the induced plasma plume composition and species kinetics. This work presents a system of optical emission spectroscopy to study the induced plumes during pulsed laser ablation of silicon and germanium targets. It was possible to study the evolution of plume composition as a function of distance, gas pressure and laser energy. The results show the presence of excited Si/Ge atoms and positive ions. From the spectroscopic information, electron temperature and density were determined and a decrease in both quantities, with the distance to the target, was observed.Trabalho foi financiado pela “Fundação para a Ciência e a Tecnologia”, no âmbito do projecto PTDC/FIS/70194/2006, do qual fui membro da equipa de investigação.Ramos, Marta M. D.Marques, L.Universidade do MinhoCosta, Liliana Sameiro Monteiro da2009-07-272009-07-27T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/1822/10797porinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2023-07-21T12:42:21Zoai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/10797Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openaireopendoar:71602024-03-19T19:39:34.421434Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãofalse
dc.title.none.fl_str_mv Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
title Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
spellingShingle Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
Costa, Liliana Sameiro Monteiro da
538.9
title_short Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
title_full Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
title_fullStr Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
title_full_unstemmed Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
title_sort Optimização do processo de deposição por laser pulsado de nanopartículas de Si/Ge : estudo da pluma de plasma por espectroscopia óptica de emissão
author Costa, Liliana Sameiro Monteiro da
author_facet Costa, Liliana Sameiro Monteiro da
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Ramos, Marta M. D.
Marques, L.
Universidade do Minho
dc.contributor.author.fl_str_mv Costa, Liliana Sameiro Monteiro da
dc.subject.por.fl_str_mv 538.9
topic 538.9
description Dissertação de mestrado em Física (Formação Contínua de Professores)
publishDate 2009
dc.date.none.fl_str_mv 2009-07-27
2009-07-27T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://hdl.handle.net/1822/10797
url http://hdl.handle.net/1822/10797
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron:RCAAP
instname_str Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron_str RCAAP
institution RCAAP
reponame_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
collection Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository.name.fl_str_mv Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1799132936984854528

Registros relacionados