Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
Data de Publicação: 2013
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10316/38860
Resumo: Dissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
id RCAP_71aac7900acdfc260b779c83d0c2c1b0
oai_identifier_str oai:estudogeral.uc.pt:10316/38860
network_acronym_str RCAP
network_name_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository_id_str 7160
spelling Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMSPulverização catódicaFilmes finosDissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra2013-09-16info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesishttp://hdl.handle.net/10316/38860http://hdl.handle.net/10316/38860TID:201663457pormetadata only accessinfo:eu-repo/semantics/openAccessFerreira, Fábio Emanuel de Sousareponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2022-04-29T20:46:54Zoai:estudogeral.uc.pt:10316/38860Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openaireopendoar:71602024-03-19T20:59:05.694520Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãofalse
dc.title.none.fl_str_mv Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
title Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
spellingShingle Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
Pulverização catódica
Filmes finos
title_short Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
title_full Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
title_fullStr Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
title_full_unstemmed Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
title_sort Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
author Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
author_facet Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
author_role author
dc.contributor.author.fl_str_mv Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
dc.subject.por.fl_str_mv Pulverização catódica
Filmes finos
topic Pulverização catódica
Filmes finos
description Dissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
publishDate 2013
dc.date.none.fl_str_mv 2013-09-16
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://hdl.handle.net/10316/38860
http://hdl.handle.net/10316/38860
TID:201663457
url http://hdl.handle.net/10316/38860
identifier_str_mv TID:201663457
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.rights.driver.fl_str_mv metadata only access
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv metadata only access
eu_rights_str_mv openAccess
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron:RCAAP
instname_str Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron_str RCAAP
institution RCAAP
reponame_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
collection Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository.name.fl_str_mv Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1799133882257244160

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