Detaljna karakterizacija tankih filmova na bazi ti-o dobijenih katodno lučnim isparavanjem

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Jokanović, Vukoman
Data de Publicação: 2021
Outros Autores: Bundaleski, Nenad, Čolović, Božana, Ferarra, Manuela, Jokanović, Bojan, Nasov, Ilija
Tipo de documento: Artigo
Idioma: bos
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10362/145962
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spelling Detaljna karakterizacija tankih filmova na bazi ti-o dobijenih katodno lučnim isparavanjemDetailed characterization of the ti-o based thin films obtained by cathodic arc evaporationEllipsometryFTIRSEMTitanium oxide thin filmsXPSXRDMaterials Science(all)Publisher Copyright: © 2021 Authors. Published by Engineering Society for Corrosion.Physicochemical properties of thin films on the base of titanium oxides, obtained by a cathodic arc evaporation on the surface of glass substrate are analysed in details. The analysis of these films was made by using XRD, FTIR, SEM, XPS analysis and ellipsometry. On the basis of these analyses, particularly analysis obtained by XPS, the oxidative state Ti and corresponding phases are determined through various film layers from the surface to the substrate. The depth of the various levels and their extinction coefficients and refractory indexes are estimated by ellipsometry.DF – Departamento de FísicaCeFITec – Centro de Física e Investigação TecnológicaRUNJokanović, VukomanBundaleski, NenadČolović, BožanaFerarra, ManuelaJokanović, BojanNasov, Ilija2022-12-02T22:14:42Z20212021-01-01T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/article10application/pdfhttp://hdl.handle.net/10362/145962bos0351-9465PURE: 45615475https://doi.org/10.5937/zasmat2101041Jinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2024-03-11T05:26:50Zoai:run.unl.pt:10362/145962Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openaireopendoar:71602024-03-20T03:52:22.377968Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãofalse
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