Caracterização de micro bolômetros LSMO micro usinados em silício.

• Autor(a) principal: NASCIMENTO, Vanuza Marques.
• Data de Publicação: 2016
• Tipo de documento: Trabalho de conclusão de curso
• Idioma: por
• Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFCG
• Texto Completo: http://dspace.sti.ufcg.edu.br:8080/jspui/handle/riufcg/19960
• topic: Estágio em Engenharia Elétrica; Micro bolômetros LSMO; Bolômetro; Radiação infravermelha; Caracterização óptica; Material LSMO; LSMO - Lanthanum strontium manganite; Banco óptico de caracterização; Fotodiodo; Diodo laser; LabVIEW; Medições ópticas; Internship in Electrical Engineering; LSMO microbolometers; Bolometer; Infrared radiation; Optical characterization; LSMO material; LSMO - Lanthanum strontium manganite; Optical characterization bench; Photodiode; Laser diode; Optical measurements; Engenharia Elétrica.

Este trabalho contém as atividades de estágio realizadas por Vanuza Marques do Nascimento, no Laboratório GREYC – Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen, no período de 12 de maio a 20 de julho de 2014. O objetivo do estágio é medir as características de detecção de microbolômetros a base de La0,7Sr0,3MnO micro usinados em silício. Os sensores foram previamente fabricados na sala limpa do Laboratório GREYC. Um trabalho inicial de caracterização e otimização foi desenvolvido sobre o banco óptico de medições instalado no laboratório. A caracterização óptica e elétrica de dois sensores foi realizada com um diodo laser de comprimento de onda de 635nm, o qual é próximo ao comprimento de onda da radiação infravermelha. Parâmetros do sensor como a constante de tempo e frequência de corte foram medidas pelo método óptico. As curvas de resistência em função da temperatura foram traçadas a temperaturas de 240 K a 340 K, utilizando nitrogênio líquido e um regulador de temperatura com controle do tipo PID. Como consequência deste trabalho, um ambiente favorável foi preparado para o desenvolvimento da caracterização de sensores com radiação infravermelha com comprimento de onda visível, bem como o desenvolvimento dos dispositivos visto que após a caracterização, os resultados foram avaliados e diversos parâmetros foram discutidos tanto no nível de fabricação quanto em relação a futuras modificações no banco de medições.