Desenvolvimento de aparato para aquecimento de substrato para a produção e caracterização de grafeno de poucas camadas a baixa temperatura em PECVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Lidizio, Leandro Reis
Data de Publicação: 2017
Tipo de documento: Trabalho de conclusão de curso
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da Universidade Federal Fluminense (RIUFF)
Texto Completo: https://app.uff.br/riuff/handle/1/7064
Resumo: Esta monografia tem o objetivo de descrever o desenvolvimento do aparato para aquecimento de substrato, objetivando a deposição de grafeno com poucas camadas. A aplicação de grafeno em dispositivos tem atraído a atenção de diversas áreas de pesquisa devido às fascinantes propriedades deste material, como flexibilidade, resistência mecânica, alta condutividade, entre outras. O aquecimento a baixa temperatura do substrato visa eliminar a necessidade do processo de transferência para outros substratos. Foi descrito também a técnica de caracterização utilizada de Espectroscopia Raman. Os resultados indicaram que à pressão constante, os parâmetros temperatura e tempo de crescimento foram fundamentais para a síntese. Utilizando a técnica Raman, foi possível analisar e identificar as bandas G e 2D nas amostras produzidas que apresentaram características de poucas camadas de carbono, alcançando o objetivo deste trabalho
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