Estudo de desempenho do cluster tool abordagem baseada na teoria de controle supervisório

• Autor(a) principal: Márcio Júnior Nunes
• Data de Publicação: 2018
• Tipo de documento: Dissertação
• Idioma: por
• Título da fonte: Repositório Institucional da UFMG
• Texto Completo: http://hdl.handle.net/1843/RAOA-BC2GFC
• topic: Teoria de controle supervisório; Sistemas de manufatura; Sistemas a eventos discretos; Cluster tool; Máximo paralelismo; Teoria do controle; Engenharia elétrica; Sistemas de tempo discreto

Este trabalho propõe um estudo sobre os parâmetros que influenciam o desempenho do cluster tool. Consideram-se quatro layouts diferentes, sendo dois do tipo radial, com 1 e 2 robôs manipuladores, e dois do tipo linear, com entrada e saída única, e entrada e saída separadas. Para comparar esses layouts, utilizamos como métricas de desempenho o makespan e o Paralelismo Acumulado Relativo, sendo este último um indicador proposto neste trabalho. Os valores destas métricas são obtidos aplicando o algoritmo de Máximo Paralelismo com Restrições Temporais ao supervisor responsável pelo controle da planta, que é gerado por meio da Teoria de Controle Supervisório. Este algoritmo busca a sequência com maior paralelismo, considerando o tempo de execução das tarefas, e retorna o makespan e o paralelismo acumulado desta sequência. A partir do paralelismo acumulado, utilizamos o número de eventos para produção do wafer e o número de equipamentos do layout considerado para calcular o Paralelismo Acumulado Relativo. Para cada layout, verificou-se o efeito do número de wafers, dos tempos de processamento e da quantidade de câmaras de processo sobre essas duas métricas. Variou-se o número de wafers de 6 a 50, o tempo de processamento de 1 a 200 segundos e o número de câmaras de 4 a 6. A análise é feita comparando o makespan e o Paralelismo Acumulado Relativo em cada layout nas diversas condições, sendo o makespan uma medida de velocidade de produção do cluster tool, e o Paralelismo Acumulado Relativo uma medida de eficiência.