Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2011 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFPR |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/1884/25713 |
Resumo: | Resumo: O conhecimento das propriedades cristalinas de semicondutores e de grande importancia para o uso e a aplicacao nos recentes avancos tecnologicos, bem como para aprimorar o processo de obtencao e crescimento. Para a caracterizacao de defeitos em cristais sao empregadas duas tecnicas principais baseadas em difracao de raios X: a analise do perfil de difracao e a topografia, as quais permitem obter nformacoes complementares sobre defeitos presentes em monocristais. A analise do perfil de difracao investiga quantitativamente uma pequena area, enquanto a topografia fornece uma imagem da distribuicao de imperfeicoes em uma grande area, sendo que ambas sao sensiveis a variacoes do parametro de rede (Ģd/d) e a orientacao da rede. O que se propoe neste trabalho e combinar simultaneamente as tecnicas de opografia e de difratometria de raios X utilizando-se de um detector de area CCD para fazer a medida do perfil de difracao tanto com fontes de radiacao convencional quanto com luz sincrotron. Dessa forma e possivel detectar e quantificar imperfeicoes com resolucao espacial da ordem de micrometros de toda a amostra com grande intensidade em menor tempo de exposicao e, ao mesmo tempo estabelecer uma orrelacao entre os defeitos microscopicos e os efeitos macroscopicos. Com o metodo proposto e possivel determinar as intensidades maxima e integrada, a posicao dos picos e a largura a meia altura da curva do perfil de difracao e com isto quantificar as variacoes do parametro de rede e rotacoes da rede cristalina. Inicialmente o metodo foi aplicado usando um monocromador quatro cristais com radiacao convencional. omo aprimoramento foi usado um monocromador assimetrico para expandir o feixe de radiacao convencional e luz sincrotron. O metodo foi aplicado a duas amostras com o objetivo de demonstrar a sua aplicabilidade: um wafer de Si (400) com um filme de oxido de silicio e uma amostra de Si (400) com nanoindentacoes. A primeira amostra serviu para o e desenvolvimento da tecnica. A segunda e um exemplo de eformacao plastica onde foi possivel identificar Ģd/d da ordem de 10-5. Os resultados demonstraram que a tecnica de imagem funcionou bem em todas as situacoes propostas. Ainda mais, foi demonstrado que essa tecnica pode ser usada nao somente com radiacao sincrotron mas tambem com fontes convencionais de raios X. |
id |
UFPR_bf243eb7ff0947c37a337bbedacc4f94 |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:acervodigital.ufpr.br:1884/25713 |
network_acronym_str |
UFPR |
network_name_str |
Repositório Institucional da UFPR |
repository_id_str |
308 |
spelling |
Tasca, Kelin ReginaMazzaro, IrineuUniversidade Federal do Paraná. Setor de Ciencias Exatas. Programa de Pós-Graduaçao em Física2011-06-16T12:46:43Z2011-06-16T12:46:43Z2011-06-16http://hdl.handle.net/1884/25713Resumo: O conhecimento das propriedades cristalinas de semicondutores e de grande importancia para o uso e a aplicacao nos recentes avancos tecnologicos, bem como para aprimorar o processo de obtencao e crescimento. Para a caracterizacao de defeitos em cristais sao empregadas duas tecnicas principais baseadas em difracao de raios X: a analise do perfil de difracao e a topografia, as quais permitem obter nformacoes complementares sobre defeitos presentes em monocristais. A analise do perfil de difracao investiga quantitativamente uma pequena area, enquanto a topografia fornece uma imagem da distribuicao de imperfeicoes em uma grande area, sendo que ambas sao sensiveis a variacoes do parametro de rede (ƒ¢d/d) e a orientacao da rede. O que se propoe neste trabalho e combinar simultaneamente as tecnicas de opografia e de difratometria de raios X utilizando-se de um detector de area CCD para fazer a medida do perfil de difracao tanto com fontes de radiacao convencional quanto com luz sincrotron. Dessa forma e possivel detectar e quantificar imperfeicoes com resolucao espacial da ordem de micrometros de toda a amostra com grande intensidade em menor tempo de exposicao e, ao mesmo tempo estabelecer uma orrelacao entre os defeitos microscopicos e os efeitos macroscopicos. Com o metodo proposto e possivel determinar as intensidades maxima e integrada, a posicao dos picos e a largura a meia altura da curva do perfil de difracao e com isto quantificar as variacoes do parametro de rede e rotacoes da rede cristalina. Inicialmente o metodo foi aplicado usando um monocromador quatro cristais com radiacao convencional. omo aprimoramento foi usado um monocromador assimetrico para expandir o feixe de radiacao convencional e luz sincrotron. O metodo foi aplicado a duas amostras com o objetivo de demonstrar a sua aplicabilidade: um wafer de Si (400) com um filme de oxido de silicio e uma amostra de Si (400) com nanoindentacoes. A primeira amostra serviu para o e desenvolvimento da tecnica. A segunda e um exemplo de eformacao plastica onde foi possivel identificar ƒ¢d/d da ordem de 10-5. Os resultados demonstraram que a tecnica de imagem funcionou bem em todas as situacoes propostas. Ainda mais, foi demonstrado que essa tecnica pode ser usada nao somente com radiacao sincrotron mas tambem com fontes convencionais de raios X.application/pdfTesesCristaisRaios X - DifracaoCaracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneosinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFPRinstname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)instacron:UFPRinfo:eu-repo/semantics/openAccessORIGINALkelin-regina-tasca.pdfapplication/pdf2725741https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/1/kelin-regina-tasca.pdf6e3f59942cce0d10a69ca2be9ba80ebfMD51open accessTEXTkelin-regina-tasca.pdf.txtkelin-regina-tasca.pdf.txtExtracted Texttext/plain80859https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/2/kelin-regina-tasca.pdf.txtfb0e2249a59958013b3f3b09fef9029dMD52open accessTHUMBNAILkelin-regina-tasca.pdf.jpgkelin-regina-tasca.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1262https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/3/kelin-regina-tasca.pdf.jpg9d1408c0e27bf0fab1b98bfdea6ba2dbMD53open access1884/257132016-04-07 07:53:27.78open accessoai:acervodigital.ufpr.br:1884/25713Repositório de PublicaçõesPUBhttp://acervodigital.ufpr.br/oai/requestopendoar:3082016-04-07T10:53:27Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)false |
dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
title |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
spellingShingle |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos Tasca, Kelin Regina Teses Cristais Raios X - Difracao |
title_short |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
title_full |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
title_fullStr |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
title_full_unstemmed |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
title_sort |
Caracterização de monocristais com análise do perfil de difração e topografia de raios X simultâneos |
author |
Tasca, Kelin Regina |
author_facet |
Tasca, Kelin Regina |
author_role |
author |
dc.contributor.other.pt_BR.fl_str_mv |
Mazzaro, Irineu Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciencias Exatas. Programa de Pós-Graduaçao em Física |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Tasca, Kelin Regina |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Teses Cristais Raios X - Difracao |
topic |
Teses Cristais Raios X - Difracao |
description |
Resumo: O conhecimento das propriedades cristalinas de semicondutores e de grande importancia para o uso e a aplicacao nos recentes avancos tecnologicos, bem como para aprimorar o processo de obtencao e crescimento. Para a caracterizacao de defeitos em cristais sao empregadas duas tecnicas principais baseadas em difracao de raios X: a analise do perfil de difracao e a topografia, as quais permitem obter nformacoes complementares sobre defeitos presentes em monocristais. A analise do perfil de difracao investiga quantitativamente uma pequena area, enquanto a topografia fornece uma imagem da distribuicao de imperfeicoes em uma grande area, sendo que ambas sao sensiveis a variacoes do parametro de rede (Ģd/d) e a orientacao da rede. O que se propoe neste trabalho e combinar simultaneamente as tecnicas de opografia e de difratometria de raios X utilizando-se de um detector de area CCD para fazer a medida do perfil de difracao tanto com fontes de radiacao convencional quanto com luz sincrotron. Dessa forma e possivel detectar e quantificar imperfeicoes com resolucao espacial da ordem de micrometros de toda a amostra com grande intensidade em menor tempo de exposicao e, ao mesmo tempo estabelecer uma orrelacao entre os defeitos microscopicos e os efeitos macroscopicos. Com o metodo proposto e possivel determinar as intensidades maxima e integrada, a posicao dos picos e a largura a meia altura da curva do perfil de difracao e com isto quantificar as variacoes do parametro de rede e rotacoes da rede cristalina. Inicialmente o metodo foi aplicado usando um monocromador quatro cristais com radiacao convencional. omo aprimoramento foi usado um monocromador assimetrico para expandir o feixe de radiacao convencional e luz sincrotron. O metodo foi aplicado a duas amostras com o objetivo de demonstrar a sua aplicabilidade: um wafer de Si (400) com um filme de oxido de silicio e uma amostra de Si (400) com nanoindentacoes. A primeira amostra serviu para o e desenvolvimento da tecnica. A segunda e um exemplo de eformacao plastica onde foi possivel identificar Ģd/d da ordem de 10-5. Os resultados demonstraram que a tecnica de imagem funcionou bem em todas as situacoes propostas. Ainda mais, foi demonstrado que essa tecnica pode ser usada nao somente com radiacao sincrotron mas tambem com fontes convencionais de raios X. |
publishDate |
2011 |
dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2011-06-16T12:46:43Z |
dc.date.available.fl_str_mv |
2011-06-16T12:46:43Z |
dc.date.issued.fl_str_mv |
2011-06-16 |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/masterThesis |
format |
masterThesis |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
http://hdl.handle.net/1884/25713 |
url |
http://hdl.handle.net/1884/25713 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional da UFPR instname:Universidade Federal do Paraná (UFPR) instacron:UFPR |
instname_str |
Universidade Federal do Paraná (UFPR) |
instacron_str |
UFPR |
institution |
UFPR |
reponame_str |
Repositório Institucional da UFPR |
collection |
Repositório Institucional da UFPR |
bitstream.url.fl_str_mv |
https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/1/kelin-regina-tasca.pdf https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/2/kelin-regina-tasca.pdf.txt https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/25713/3/kelin-regina-tasca.pdf.jpg |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
6e3f59942cce0d10a69ca2be9ba80ebf fb0e2249a59958013b3f3b09fef9029d 9d1408c0e27bf0fab1b98bfdea6ba2db |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR) |
repository.mail.fl_str_mv |
|
_version_ |
1801860818553274368 |