Estabilidade térmica de nanofilmes dielétricos depositados em silício

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Soares, Gabriel Vieira
Data de Publicação: 2002
Outros Autores: Morais, Jonder, Baumvol, Israel Jacob Rabin, Pezzi, Rafael Peretti, Miotti, Leonardo
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/56307
Resumo: 216
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