Estudo da dessorção e incorporção de água em filmes de HfO/sub 2/ sobre Si

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Martinazzi, Elizandra
Data de Publicação: 2005
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/52923
Resumo: 348
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