Operacionalização e otimização do sistema de deposição de filmes finos do LAM

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Paredi, Rodrigo Melo
Data de Publicação: 1999
Outros Autores: Schmidt, Joao Edgar, Gundel, Andre, Pereira, Luis Gustavo
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/85953
Resumo: 128
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