Nanofios semicondutores para nano-sensoriamento ultra-sensível
Autor(a) principal: | |
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Data de Publicação: | 2009 |
Tipo de documento: | Trabalho de conclusão de curso |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFRGS |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/10183/32946 |
Resumo: | Nanofios semicondutores de óxido metálico apresentam enorme potencial em aplicações de nano-sensoriamento ultra-sensível, rápido e seletivo de diferentes gases e substâncias químicas e biológicas. Nano-sensores de estado sólido à base de nanofios semicondutores podem detectar de forma rápida quantidades ínfimas (p.p.m. e p.p.b.) de substâncias, tornando-se, portanto, ferramentas poderosas no controle de exposição a substâncias nocivas, por exemplo.Neste trabalho, desenvolvemos as etapas necessárias para a fabricação de sensores de gás à base de nanofios de ZnO. Os processos estudados contemplam a síntese, bem como a caracterização de nanofios de ZnO crescidos em substratos de Safira e Silício através do mecanismo Vapor-líquido-sólido (VLS). Além disso, o desenvolvimento de litografia por microfeixe iônico para a fabricação de microcontatos para análise das propriedades elétricas (curvas IxV) dos fios em ambientes gasosos controlados é apresentado. |
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Cauduro, André Luís FernandesBaptista, Daniel Lorscheitter2011-10-15T01:18:07Z2009http://hdl.handle.net/10183/32946000740140Nanofios semicondutores de óxido metálico apresentam enorme potencial em aplicações de nano-sensoriamento ultra-sensível, rápido e seletivo de diferentes gases e substâncias químicas e biológicas. Nano-sensores de estado sólido à base de nanofios semicondutores podem detectar de forma rápida quantidades ínfimas (p.p.m. e p.p.b.) de substâncias, tornando-se, portanto, ferramentas poderosas no controle de exposição a substâncias nocivas, por exemplo.Neste trabalho, desenvolvemos as etapas necessárias para a fabricação de sensores de gás à base de nanofios de ZnO. Os processos estudados contemplam a síntese, bem como a caracterização de nanofios de ZnO crescidos em substratos de Safira e Silício através do mecanismo Vapor-líquido-sólido (VLS). Além disso, o desenvolvimento de litografia por microfeixe iônico para a fabricação de microcontatos para análise das propriedades elétricas (curvas IxV) dos fios em ambientes gasosos controlados é apresentado.Metal oxide nanowires semiconductors have enormous potential in high-sensitive, fast and selective sensing applications. It may be used to selectively detect different gases, chemical and biological substances. Semiconducting ZnO nanowires can improve a nano-sensor device which quickly detects small quantities (p.p.m. and p.p.b.) of a certain substance, becoming a powerful device to control the environment of a presence of harmful substances, for instance. We report on the development of crucial steps in the fabrication of a ZnO based gas sensor. The described processes involve the synthesis as well as the characterization of ZnO nanowires grown on sapphire and silicon substrates by the Vapor-liquid-solid mechanism. Moreover, the development of a lithography technique using ion micro-beam with the purpose of fabricating metallic micro-contacts in order to perform electrical measurements (IxV curves) on the ZnO nanowires in controlled gaseous environment is presented.application/pdfporÓxido de zincoNanofiosMateriais nanoestruturadosLitografia por feixe iônicoMicroeletrônicaZinc oxide nanowiresNano-sensorMicro-beam lithographyVapor-liquidsolid mechanismNanofios semicondutores para nano-sensoriamento ultra-sensívelinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/bachelorThesisUniversidade Federal do Rio Grande do SulInstituto de FísicaPorto Alegre, BR-RS2009Física: Bachareladograduaçãoinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional da UFRGSinstname:Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)instacron:UFRGSTEXT000740140.pdf.txt000740140.pdf.txtExtracted Texttext/plain70095http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/32946/2/000740140.pdf.txta76c4ad36b1292642b80b9c43ef58f8eMD52ORIGINAL000740140.pdf000740140.pdfTexto completoapplication/pdf2372318http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/32946/1/000740140.pdf6dbbe870e5ca127fc0d2c1b0bbb673d4MD51THUMBNAIL000740140.pdf.jpg000740140.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1176http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/32946/3/000740140.pdf.jpg580169359989f79ed1a4a636241576c1MD5310183/329462018-10-08 08:00:14.28oai:www.lume.ufrgs.br:10183/32946Repositório de PublicaçõesPUBhttps://lume.ufrgs.br/oai/requestopendoar:2018-10-08T11:00:14Repositório Institucional da UFRGS - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)false |
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