Oxidação térmica de SiC e caracterização das estruturas SiO2/Si formadas

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Santos, Evelise Fonseca dos
Data de Publicação: 2004
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/53979
Resumo: 277
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