Processamento de nanoestruturas em óxido de silício por bombardeio de íons individuais e "etching" químico

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Ly, Moussa
Data de Publicação: 2000
Outros Autores: Livi, Rogerio Pohlmann, Papaleo, Ricardo Meurer
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/79277
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