Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Fontana, Luis Cesar
Data de Publicação: 1997
Tipo de documento: Tese
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFSC
Texto Completo: http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999
Resumo: Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico.
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