Estudo de filmes finos e multicamadas metálicas por difratometria de raios-X

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Boldo, Emerson Mario
Data de Publicação: 2000
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFSC
Texto Completo: http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/79292
Resumo: Dissertação (mestrado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro de Ciências Físicas e Matemáticas.
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spelling Estudo de filmes finos e multicamadas metálicas por difratometria de raios-XFilmes finosFilmes metalicosEletrodeposiçãoDissertação (mestrado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro de Ciências Físicas e Matemáticas.O objetivo principal deste trabalho é explorar as potencialidades da técnica de difração de raio-X para a caracterização estrutural de filmes finos e multicamadas metálicas produzidas por eletrodeposição. Foram estudados filmes finos de cobre, níquel e cobalto eletrodepositados sobre silício monocristalino e multicamadas de Ni-Co-Cu/Cu e Cu/Co, eletrodepositadas em silício e cobre. A difração de raios-X foi empregada na geometria Bragg-Brentano (q-2q) em alto e baixo ângulos.Complementando o estudo, realizou-se uma análise morfológica das amostras, utilizando-se a técnica de microscopia eletrônica de varredura (Scanning Electron Microscopy - SEM), objetivando correlacionar os resultados obtidos com a difração de raios-X. A técnica de difração de raios-X mostrou-se adequada para a caracterização estrutural de filmes finos e multicamadas, principalmente para a obtenção de informações sobre a cristalinidade e textura, no caso dos filmes e qualidade, modulação e espessura no caso das multicamadas.Florianópolis, SCOliveira, Lia Silva deUniversidade Federal de Santa CatarinaBoldo, Emerson Mario2012-10-18T01:38:46Z2012-10-18T01:38:46Z20002000info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisvii, 89 f.| il.application/pdf171244http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/79292porreponame:Repositório Institucional da UFSCinstname:Universidade Federal de Santa Catarina (UFSC)instacron:UFSCinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-09-25T16:03:10Zoai:repositorio.ufsc.br:123456789/79292Repositório InstitucionalPUBhttp://150.162.242.35/oai/requestopendoar:23732014-09-25T16:03:10Repositório Institucional da UFSC - Universidade Federal de Santa Catarina (UFSC)false
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