Efeito do recozimento na formação de domínios cristalográficos em filmes finos de telureto de cádmio sintetizados por epitaxia de paredes quentes
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Data de Publicação: | 2020 |
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Texto Completo: | https://locus.ufv.br//handle/123456789/28491 |
Resumo: | O telureto de cádmio é um semicondutor utilizado na fabricação de células solares fotovoltaicas. A eficiência desses dispositivos é influenciada pela microestrutura do filme semicondutor que pode ser controlada por uma etapa de recozimento, um importante processo na fabricação das células solares. Neste trabalho, investigou-se o efeito do tempo de recozimento nas propriedades de filmes de CdTe depositados sobre silício (100) pela técnica de epitaxia de paredes quentes. Os filmes estudados foram crescidos utilizando temperatura da fonte de 520 o C, temperatura do substrato de 250 o C e tempo de crescimento de 4,0 horas. Após o crescimento, as amostras passaram por um processo de recozimento em vácuo, a uma temperatura de 350 o C e o tempo de recozimento variando de 75 minutos a 120 horas. A morfologia e a estrutura cristalina dos filmes foram investigadas utilizando as técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios X e difração de elétrons. Sem recozimento a amostra se apresenta como um filme policristalino com rugosidade superficial em torno de 20 nm e forte orientação preferencial na direção (111). O recozimento provoca o crescimento dos grãos e um aumento na rugosidade do filme. O comportamento da rugosidade em função do tempo de recozimento mostra que a dinâmica de crescimento dos grãos sofre uma transição abrupta entre 20 e 40 horas de recozimento. A difração de raios X mostra que apesar de continuar exibindo forte orientação preferencial (111), o recozimento provoca o crescimento de grãos com outras orientações, que passam a aparecer nos espectros de difração. A orientação preferencial na direção (111) na forma de textura de fibra e o aumento da presença de grãos com outras orientações cristalográficas, a partir da superfície do substrato de silício, são evidenciados pelas medidas de difração de elétrons retroespalhados e transmitidos. Os resultados trazem importantes informações sobre a dinâmica do processo de recozimento em filmes finos. Palavras-chave: CdTe. Recozimento. AFM. EBSD. TKD. Microestrutura. |
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Costa, Frederico Vasconcelloshttp://lattes.cnpq.br/3342369863283253Ferreira, Sukarno Olavo2021-11-18T12:03:00Z2021-11-18T12:03:00Z2020-03-05COSTA, Frederico Vasconcellos. Efeito do recozimento na formação de domínios cristalográficos em filmes finos de telureto de cádmio sintetizados por epitaxia de paredes quentes. 2020. 75 f. Tese (Doutorado em Física) - Universidade Federal de Viçosa, Viçosa. 2020.https://locus.ufv.br//handle/123456789/28491O telureto de cádmio é um semicondutor utilizado na fabricação de células solares fotovoltaicas. A eficiência desses dispositivos é influenciada pela microestrutura do filme semicondutor que pode ser controlada por uma etapa de recozimento, um importante processo na fabricação das células solares. Neste trabalho, investigou-se o efeito do tempo de recozimento nas propriedades de filmes de CdTe depositados sobre silício (100) pela técnica de epitaxia de paredes quentes. Os filmes estudados foram crescidos utilizando temperatura da fonte de 520 o C, temperatura do substrato de 250 o C e tempo de crescimento de 4,0 horas. Após o crescimento, as amostras passaram por um processo de recozimento em vácuo, a uma temperatura de 350 o C e o tempo de recozimento variando de 75 minutos a 120 horas. A morfologia e a estrutura cristalina dos filmes foram investigadas utilizando as técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios X e difração de elétrons. Sem recozimento a amostra se apresenta como um filme policristalino com rugosidade superficial em torno de 20 nm e forte orientação preferencial na direção (111). O recozimento provoca o crescimento dos grãos e um aumento na rugosidade do filme. O comportamento da rugosidade em função do tempo de recozimento mostra que a dinâmica de crescimento dos grãos sofre uma transição abrupta entre 20 e 40 horas de recozimento. A difração de raios X mostra que apesar de continuar exibindo forte orientação preferencial (111), o recozimento provoca o crescimento de grãos com outras orientações, que passam a aparecer nos espectros de difração. A orientação preferencial na direção (111) na forma de textura de fibra e o aumento da presença de grãos com outras orientações cristalográficas, a partir da superfície do substrato de silício, são evidenciados pelas medidas de difração de elétrons retroespalhados e transmitidos. Os resultados trazem importantes informações sobre a dinâmica do processo de recozimento em filmes finos. Palavras-chave: CdTe. Recozimento. AFM. EBSD. TKD. Microestrutura.Cadmium telluride is an important semiconductor used for solar cells fabrication. The efficiency of these devices is affected by thin film microstructure which can be controlled by an annealing process, often present in solar cell production. In this work, the effect of annealing time on the properties of CdTe films grown on Si (100) by Hot Wall Epitaxy has been investigated. Growth parameters for all samples were source temperature of 520 o C, substrate temperature of 250 o C and growth time of 4.0 hours. After the growth, before removing from the growth system, the samples were annealed in vacuum, at 350 o C, for times between 75 minutes and 120 hours. Atomic force microscopy, x-ray diffraction and electron diffraction were used to investigate the film surface morphology and crystalline structure. The as grown sample is polycrystalline with strong (111) preferential orientation and roughness around 20 nm. The annealing process produces grain growth and an increase in surface roughness, which grows algebraically with annealing time, and shows an abrupt transition for times between 20 and 40 hours. X ray diffraction indicates that, although maintaining the (111) preferential orientation, there is an increase in density of grains with other crystalline orientations. A (111) fiber texture and the growth of grains with other orientations, nucleated in the beginning of the growth process at the substrate surface is confirmed by backscattered and transmitted electron diffraction. These results bring important contributions about the annealing process dynamics of thin semiconductor films. Keywords: CdTe. Annealing. AFM. EBSD. TKD. Microstructure.porUniversidade Federal de ViçosaTelureto de cádmioMicroscopia eletrônica de varreduraMicroscopia de força atômicaFísica da Matéria CondensadaEfeito do recozimento na formação de domínios cristalográficos em filmes finos de telureto de cádmio sintetizados por epitaxia de paredes quentesEffect of annealing on the formation of crystallographic domains in cádmium telluride thin films synthesized by hot wall epitaxyinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisUniversidade Federal de ViçosaDepartamento de FísicaDoutor em FísicaViçosa - MG2020-03-05Doutoradoinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:LOCUS Repositório Institucional da UFVinstname:Universidade Federal de Viçosa (UFV)instacron:UFVORIGINALtexto completo.pdftexto completo.pdftexto completoapplication/pdf3775345https://locus.ufv.br//bitstream/123456789/28491/1/texto%20completo.pdff3a769269fbc5e662833c0ffa0f856bfMD51LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81748https://locus.ufv.br//bitstream/123456789/28491/2/license.txt8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33MD52123456789/284912021-11-18 09:04:10.439oai:locus.ufv.br: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Repositório InstitucionalPUBhttps://www.locus.ufv.br/oai/requestfabiojreis@ufv.bropendoar:21452021-11-18T12:04:10LOCUS Repositório Institucional da UFV - Universidade Federal de Viçosa (UFV)false |
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