Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Pereira, Mauro Gibson
Data de Publicação: 1984
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033
Resumo: Orientador: Jaime Frejlich
id UNICAMP-30_0133a2a3b3b3515f816ed24707716e95
oai_identifier_str oai::56023
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresinaFísica óticaCalibraçãoCentrifugaçãoOrientador: Jaime FrejlichDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: O objetivo deste trabalho é a seleção e o desenvolvimento de técnicas para preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina. A utilização de filmes fotossensíveis para o registro, processamento de imagens e fabricação de componentes, requer a fabricação de filmes numa ampla faixa de espessuras (décimos a dezenas de micra) que apresentem boa qualidade. Construímos uma máquina de imersão para testes experimentais e comparamos os resultados obtidos com esta técnica com aqueles obtidos na "máquina à rolo" e o "método de centrifugação". A qualidade dos filmes fabricados por imersão é comparável aos obtidos com a centrífuga, mas muito melhor que usando o rolo. Quando comparados com a centrífuga, nosso processo de deposição demanda mais tempo mas permite a produção de filmes extremamente finos, depende menos das condições de limpeza e forma dos substratos, e gasta menos material. Desenvolvemos para este método uma curva de calibração geral o que deve facilitar muito o emprego desta técnica. Desenvolvemos uma modificação no esquema experimental do método de Abelès para determinação do índice de refração de filmes pouco absorventes sobre substratos transparentes. O método se aplica muito bem para filmes de índice muito maior do que do substrato e cuja medida é muito difícil por outras técnicasAbstract: This work is concerned with the selection and development of techniques for fabrication and optical characterization of thin photoresist films. The use of these films for optical recording, image processing and component fabrication requires good quality films ranging from tenths up to tens of micrometers in thickness. We developed a machine for dip-coating and compared its performance with that of others such as the rolling machine, and the spinning-wheel method. The quality of the dip-coated films are comparable to those obtained with the spinning wheel and much better than those prepared with the rolling machine. As compared with the spinning-wheel, the dip-coating is more time consuming but allows to produce extremely thin films, it is less dependent upon the cleanliness and shape of substrates and wastes less photoresist.: A calibration curve was developed for the dip-coating process which may largely facilitate the practical use of this method. An implementation on the Abelès method was developed for measuring the refractive index of thin films coated on transparent substrate and using coherent light. This modification allows also measuring index of refraction much higher than that of the substrate, which is otherwise a complicate matterMestradoFísicaMestre em Física[s.n.]Frejlich, Jaime, 1946-2019Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASPereira, Mauro Gibson19841984-07-24T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf119 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033PEREIRA, Mauro Gibson. Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina. 1984. 119 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/56023porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-06-11T15:46:29Zoai::56023Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-06-11T15:46:29Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
title Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
spellingShingle Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
Pereira, Mauro Gibson
Física ótica
Calibração
Centrifugação
title_short Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
title_full Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
title_fullStr Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
title_full_unstemmed Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
title_sort Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina
author Pereira, Mauro Gibson
author_facet Pereira, Mauro Gibson
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Frejlich, Jaime, 1946-2019
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin
Programa de Pós-Graduação em Física
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Pereira, Mauro Gibson
dc.subject.por.fl_str_mv Física ótica
Calibração
Centrifugação
topic Física ótica
Calibração
Centrifugação
description Orientador: Jaime Frejlich
publishDate 1984
dc.date.none.fl_str_mv 1984
1984-07-24T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033
PEREIRA, Mauro Gibson. Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina. 1984. 119 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033
identifier_str_mv PEREIRA, Mauro Gibson. Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina. 1984. 119 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580033. Acesso em: 2 set. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/56023
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
119 f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188752191389696

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