Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Pohl, Alexandre de Almeida Prado
Data de Publicação: 1987
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580267
Resumo: Orientador: Helmut Hans Dispert
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spelling Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetroElipsometriaSuperfícies (Física)Orientador: Helmut Hans DispertDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas ópticas nas medidas elipsométricas. A verificação do desempenho do aparato experimental foi realizada depositando-se filmes de diversos metais e analisando-se os resultados para as respectivas constantes ópticas. A cinética de oxidação dos filmes recém-evaporados pôde ser acompanhada, revelando a potencial Idade do Instrumento no estudo da dinâmica de superfíciesAbstract: A vacuum evaporator apparatus coupled to na automatic fotometric ellipsometer was built. The system allows in situ studies of optical properties of evaporated films. Details on its construction and operation, as well as the influence of the optical windows in the ellipsometric measurements, are described. The performance evaluation of the apparatus was accomplished by evaporating films of several metals and by analyzing the results obtained for their optical constants. The kinetics of oxidation of freshly evaporated films was monitored, revealing the potentiality of the instrument in the study of surface dynamicsMestradoFísicaMestre em Física[s.n.]Dispert, Helmut Hans, 1947-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASPohl, Alexandre de Almeida Prado19871987-05-19T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf62 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580267POHL, Alexandre de Almeida Prado. Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro. 1987. 62 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1580267. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/59984porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2018-09-26T14:48:43Zoai::59984Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2018-09-26T14:48:43Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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