Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Morais, Jonder, 1966-
Data de Publicação: 1991
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618
Resumo: Orientador: Richard Landers
id UNICAMP-30_1deaf65f3df754ac7d090b8798e68158
oai_identifier_str oai::33203
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVDSemicondutoresAnálise espectralOrientador: Richard LandersDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: Neste trabalho propomos crescer e caracterizar estruturas semicondutoras do tipo GaAs/GalnAs e InP/GalnAs, tendo em vista o estudo das interfaces. As amostras foram crescidas por MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) a pressão atmosférica. e foram analisadas por Espectroscopia de Elétrons AUGER associada à erosão iônica. Foram feitas amostras onde empregou-se interrupções de crescimento ("growth interruptions") nas interfaces, com o objetivo de torna-las o mais abruptas possivel. Foram obtidos perfis em profundidade ( "depth profiles") destas amostras para estudar o comportamento das interfaces em função das interrupções. As análises AUGER também foram utilizadas para apontar eventuais problemas nos crescimentos. auxiliando desta forma na escolha da melhor geometria do reator. Também foram crescidos e analisados Super-redes (SL) e Poços quânticos múltiplos (MQW), bem como um dispositivo H.E.M.T. (high electron mobility transistor)Abstract: Not informedMestradoFísicaMestre em Física[s.n.]Landers, Richard, 1946-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASMorais, Jonder, 1966-19911991-08-09T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf[113] f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618MORAIS, Jonder. Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD. 1991. [113] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/33203porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-04-30T07:50:42Zoai::33203Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-04-30T07:50:42Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
title Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
spellingShingle Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
Morais, Jonder, 1966-
Semicondutores
Análise espectral
title_short Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
title_full Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
title_fullStr Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
title_full_unstemmed Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
title_sort Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD
author Morais, Jonder, 1966-
author_facet Morais, Jonder, 1966-
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Landers, Richard, 1946-
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin
Programa de Pós-Graduação em Física
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Morais, Jonder, 1966-
dc.subject.por.fl_str_mv Semicondutores
Análise espectral
topic Semicondutores
Análise espectral
description Orientador: Richard Landers
publishDate 1991
dc.date.none.fl_str_mv 1991
1991-08-09T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618
MORAIS, Jonder. Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD. 1991. [113] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618
identifier_str_mv MORAIS, Jonder. Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD. 1991. [113] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575618. Acesso em: 2 set. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/33203
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
[113] f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188709914902528

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