Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Braga, Ana Katia de Mesquita
Data de Publicação: 1992
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325
Resumo: Orientador: Vitor Baranauskas
id UNICAMP-30_40feb1f7b880ff4e4ac5a83c62d9b289
oai_identifier_str oai::75877
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laserSemicondutoresMicroeletrônicaOrientador: Vitor BaranauskasDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: Estudamos a foto deposição de ouro a partr 'da solução de HAuCl4 soble lâminas de sillcio t.ipo p, induzida pOI' lasel' de HeNe (632.8nrn). Obsel'vamos que o depósit.o ocol'l'e pl'incipabnent.e pela exclt.ação da int.el'f'ace semicondut.ol'-elet.l'ólit.o, com os f'ót.ons :;el'ando elét.l'ons na banda de condução e t.1'ans:f'el'lndop-aorsa a + - o I'eação Au (a.q> + 1e .. Au (so>. A mOI'f'olo:;iados f'ilrnes foi ident.if'icada pOI' Micl'oscopia Elet.I'Ónica de Varl'edur-a (SEM) e Micl'oscopia de FOl'ça At.ômica (AFM) . Em deposições com a pot.ência do lasel' f'ocalizada ent.l'e 80J.lm~ 2ta.1O~ 240J.lmnot.amos que, na I'e:;iãcoent.l'alo,s át.omos de Au t.endem a deposit.ar-se na fOl'ma cl'ist.alina, com pl'ef'el'enciabnent.e na dil'eção vel't.ical. Nas I'e:;iões :;I'ãos não t.endem a coalescel' pois a mobilidade depósi t.os é muit.o baixa. cl'esciment.o lat.el'ais lat.el'aJ os dos Obsel'vou-se a ocol'l'ência de uma espessur-a limit.e em t.ol'no de 0.9 - 1.0 J.lm,que é at.in:;ida após apl'oximadament.e 5 min de exposição. A :;l'anulomet.l'iamédia da deposição na I'e:;ião cent.ral do feixe é da ol'demde 400 - 900 nrnMestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Baranauskas, Vitor, 1952-2014Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia ElétricaPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASBraga, Ana Katia de Mesquita1992info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf[122]f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325BRAGA, Ana Katia de Mesquita. Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser. 1992. [122]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325. Acesso em: 14 mai. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/75877porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-18T03:16:22Zoai::75877Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-18T03:16:22Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
title Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
spellingShingle Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
Braga, Ana Katia de Mesquita
Semicondutores
Microeletrônica
title_short Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
title_full Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
title_fullStr Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
title_full_unstemmed Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
title_sort Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser
author Braga, Ana Katia de Mesquita
author_facet Braga, Ana Katia de Mesquita
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Baranauskas, Vitor, 1952-2014
Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Braga, Ana Katia de Mesquita
dc.subject.por.fl_str_mv Semicondutores
Microeletrônica
topic Semicondutores
Microeletrônica
description Orientador: Vitor Baranauskas
publishDate 1992
dc.date.none.fl_str_mv 1992
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325
BRAGA, Ana Katia de Mesquita. Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser. 1992. [122]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325. Acesso em: 14 mai. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325
identifier_str_mv BRAGA, Ana Katia de Mesquita. Fotodeposição de ouro sobre silicio induzida a laser. 1992. [122]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581325. Acesso em: 14 mai. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/75877
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
[122]f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1799138306743599104

Registros relacionados