Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeV
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Data de Publicação: | 1976 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
Texto Completo: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577014 |
Resumo: | Orientador : C.I.Z. Mammana |
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Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeVImplantação iônicaIonizaçãoOrientador : C.I.Z. MammanaDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de CampinasResumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de execução das partes componentes do implantador do LED tendo sido introduzidas diversas modificações baseadas na experiência anteriormente citada e também nas características propostas para o implantador do LED. Entre estas podemos citar a elaboração de uma fonte de íons de concepção mais simples a utilização de um espectrômetro massa tipo setor magnético, uma câmara de alvo aperfeiçoada. O sistema de vácuo é totalmente automáticoAbstract: Not informedMestrado[s.n.]Mammana, Carlos Ignacio Zamitti, 1941-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia de CampinasPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASDamiani, Furio, 1943-20161976info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf122 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577014DAMIANI, Furio. Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeV. 1976. 122 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577014. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/46992porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2017-02-18T02:01:48Zoai::46992Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2017-02-18T02:01:48Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false |
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