Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Cavalcanti, Leide Passos, 1968-
Data de Publicação: 1995
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264
Resumo: Orientador: Iris Concepcion Linares de Torriani
id UNICAMP-30_9a8591e8d186a42028f3290d0146202d
oai_identifier_str oai::102703
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidênciaRaios X - DifraçãoFilmes finosRaios X - Difração - TécnicaOrientador: Iris Concepcion Linares de TorrianiDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin"Resumo: Este trabalho apresenta um estudo de filmes finos e ultrafinos por difração de raios-X com reflexão as simétrica e baixo ângulo de incidência através da utilização do Goniômetro de Guinier. O objetivo principal deste trabalho foi estudar de maneira geral as propriedades da difração por reflexão as simétrica com o intuito de mostrar as possibilidades da técnica na aplicação ao estudo de filmes finos. São apresentados resultados da caracterização de filmes finos de Ge nanocristalino crescidos por sputtering sobre lâmina monocristalina do mesmo material. As análises permitem identificar um perfil de profundidade com relação à textura. Tanto nestas amostras como também em filmes de Au sobre Si monocristalino foi possível subtrair completamente as reflexões do substrato. Outro aspecto interessante desta técnica abordado neste estudo é mostrado com os resultados de uma amostra de GaAs não dopado crescido epitaxialmente sobre substrato de Si monocristalino. Foi obtida uma caracterização da epitaxia sob diferentes ângulos azimutais. Além de mostrar a aplicação desta geometria no estudo dos filmes mencionados, uma grande contribuição desta tese foi, sem dúvida, a implementação da técnica no Laboratório de Cristalografia Aplicada e Raios-X do IFGW onde será usado como importante instrumento de pesquisaAbstract: In this work we present a study of thin and ultrathin3 films by X-Ray diffraction with asymmetric ref1ection and small incidence angle using a Guinier goniometer. The main purpose of this work was to study, in general, the properties of the diffraction by asymmetric ref1ection showing alI the possibilities of this technique when applied to the study of thin films. We present results on characterization of nanocrystalline Germanium thin films deposited by sputtering on aGe substrate. The analyses allow us to identify a depth profile of the films texture. Both for these Germanium samples and for Gold thin films on monocrystalline Silicon it was possible to suppress the substrate ref1ection. Another interesting aspect of this technique is revealed by the results obtained in the study of an undoped GaAs epitaxial layer grown on a monocrystalline Silicon substrate. A characterization of the epitaxy under different azimuths was obtained. Besides showing the application of this geometry in the study of thin films, another contribution of this thesis as the implementation of the technique in the 'Laboratório de Cristalografia Aplicada e Raios-X' (IFGW) where it is going to be used as an important research toolMestradoFísicaMestre em Física[s.n.]Torriani, Iris Concepcion Linares de, 1934-Souza, Christina Franco deCotta, Mônica AlonsoUniversidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASCavalcanti, Leide Passos, 1968-19951995-03-30T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf57 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264CAVALCANTI, Leide Passos. Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência. 1995. 57 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264. Acesso em: 14 mai. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/102703porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-06-27T10:23:15Zoai::102703Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-06-27T10:23:15Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
title Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
spellingShingle Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
Cavalcanti, Leide Passos, 1968-
Raios X - Difração
Filmes finos
Raios X - Difração - Técnica
title_short Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
title_full Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
title_fullStr Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
title_full_unstemmed Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
title_sort Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência
author Cavalcanti, Leide Passos, 1968-
author_facet Cavalcanti, Leide Passos, 1968-
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Torriani, Iris Concepcion Linares de, 1934-
Souza, Christina Franco de
Cotta, Mônica Alonso
Universidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb Wataghin
Programa de Pós-Graduação em Física
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Cavalcanti, Leide Passos, 1968-
dc.subject.por.fl_str_mv Raios X - Difração
Filmes finos
Raios X - Difração - Técnica
topic Raios X - Difração
Filmes finos
Raios X - Difração - Técnica
description Orientador: Iris Concepcion Linares de Torriani
publishDate 1995
dc.date.none.fl_str_mv 1995
1995-03-30T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264
CAVALCANTI, Leide Passos. Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência. 1995. 57 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264. Acesso em: 14 mai. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264
identifier_str_mv CAVALCANTI, Leide Passos. Caracterização de filmes finos por difração de raios-X com baixo ângulo de incidência. 1995. 57 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1583264. Acesso em: 14 mai. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/102703
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
57 f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1799138317194756096

Registros relacionados