Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Pavani Filho, Aristides
Data de Publicação: 1990
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575860
Resumo: Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego Hennies
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