Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Navarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano
Data de Publicação: 1997
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892
Resumo: Orientador: Cesar Jose Bonjuani Pagan
id UNICAMP-30_b517f05b18850a896872b6a552c8c157
oai_identifier_str oai::128874
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminarFilmes finos de diamantesFeixes de laserDiamante artificialCristais - CrescimentoOrientador: Cesar Jose Bonjuani PaganDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de ComputaçãoResumo: O emprego de filmes de diamante em dispositivos semicondutores promete um avanço tecnológico significativo na Industria de Eletrônica. Sua combinação única de propriedades, que supera a dos semicondutores utilizados atualmente, possibilita uma maior integração e velocidade de operação em circuitos feitos desse material. Nosso plano de trabalho consiste no crescimento de um monocristal de diamante depositado em um substrato de outro material. Forma mais útil do diamante na área de eletrônica. Para tal, propomos um método híbrido empregando, simultaneamente, filamento quente e laser. O filamento-quente responsável pela dissociação das espécies gasosas produz hidrogênio atômico e radicais precursores do diamante. O laser, utilizando para o aquecimento do substrato, favorece o crescimento do cristal em um área limitado por temperatura. No método proposto, o feixe laser passa por uma óptica de focalização de forma a atingir o substrato com um diâmetro de alguns micro ¿ correspondente aproximadamente ao diâmetro de um núcleo de diamante. O reator foi projetado de maneira a permitir a entrada da radiação laser sem a necessidade de um sistema óptico complexo. Para manter a temperatura necessária ao crescimento do cristal apenas na região de interesse o porta substrato foi confeccionado de material bom condutor térmico cujo interior passa um fluxo de água que transporta o calor para fora do sistema ... Observação: O resumo, na íntegra, poderá ser visualizado no texto completo da tese digitalAbstract: The use of diamond films for semiconductor devices promises a technological advance in Electronic Industry. It¿s unique combination of properties which overcome that of those semiconductors used nowadays allows a better integration and seed operation in circuits of this particular material. The subject of our Theses is about the growth of a single-crystal diamond on a non diamond substrate, the most useful form of diamond for the electronic field. Thus, we have proposed a hybrid method using, simultaneously, hot-filament and laser. The role of the hot-filament in to dissociate the inlet gas mixture. As a result, atomic hydrogen and diamond precursors radical, are found. A laser is used to heat the substrate, helping the crystal growth in a temperature limited area. For the proposed method, the laser beam passes though an optical system, focusing the substrate within an area of 5 to 10 microns in diameter, which is similar to a diamond nucleus. The chamber has been developed in order to permit the radiation inlet with no need of a complex optical system. To keep the desire temperature for the crystal growth, at the corresponding area, the sample mount has been made of a good heat conductor which allows a water flow into its interior, taking the heat away. So, it provides a temperature gradient, causing the desired effect ... Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertationsMestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Pagan, Cesar Jose Bonjuani, 1962-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASNavarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano19971997-12-11T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf[97] f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892NAVARRO DA CRUZ, Daniella Maria Florenzano. Crescimento seletivo de diamante assistido a laser: um estudo preliminar. 1997. [97] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/128874porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-18T11:13:37Zoai::128874Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-18T11:13:37Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
title Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
spellingShingle Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
Navarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano
Filmes finos de diamantes
Feixes de laser
Diamante artificial
Cristais - Crescimento
title_short Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
title_full Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
title_fullStr Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
title_full_unstemmed Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
title_sort Crescimento seletivo de diamante assistido a laser : um estudo preliminar
author Navarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano
author_facet Navarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Pagan, Cesar Jose Bonjuani, 1962-
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Navarro da Cruz, Daniella Maria Florenzano
dc.subject.por.fl_str_mv Filmes finos de diamantes
Feixes de laser
Diamante artificial
Cristais - Crescimento
topic Filmes finos de diamantes
Feixes de laser
Diamante artificial
Cristais - Crescimento
description Orientador: Cesar Jose Bonjuani Pagan
publishDate 1997
dc.date.none.fl_str_mv 1997
1997-12-11T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv (Broch.)
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892
NAVARRO DA CRUZ, Daniella Maria Florenzano. Crescimento seletivo de diamante assistido a laser: um estudo preliminar. 1997. [97] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892. Acesso em: 2 set. 2024.
identifier_str_mv (Broch.)
NAVARRO DA CRUZ, Daniella Maria Florenzano. Crescimento seletivo de diamante assistido a laser: um estudo preliminar. 1997. [97] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1585892
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/128874
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
[97] f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188809067200512

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