Projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silicio
Autor(a) principal: | |
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Data de Publicação: | 1984 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
Texto Completo: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581149 |
Resumo: | Orientador : Antonio Celso Fonseca de Arruda |
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Projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silicioFusão por zonaSilícioOrientador : Antonio Celso Fonseca de ArrudaDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de CampinasResumo: O trabalho descreve o projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silício. Nos três primeiros capítulos foram coletadas informações bibliográficas que forneceram o suporte teórico necessário ao desenvolvimento. Para o estudo, o equipamento foi subdividido em: tema Mecânico, de controle e de aquecimento. Nos capítulos IV e V, discutem-se, respectivamente, as escolhas de materiais e componentes utilizados e os resultados obtidos. No capítulo VI, mostra-se a viabilidade da utilização de motores, materiais e elementos de máquinas nacionais. Conclui-se também que a utilização de câmara de atmosfera controlada, com circuito simples de resfriamento, e adequada ao processo de purificação. As perdas de potência no sistema de aquecimento por R.F. podem ser minimizadas com o uso de barras de cobre isoladas, ao invés de cabos. O sistema modular dos cabeçotes de puxamento permite precisão dos movimentos da barra e fácil manutenção. Finalmente, destaca-se a necessidade da utilização de um microprocessador para controle de cilindricidade, deslocamentos da barra e temperatura de resfriamentoAbstract: The work describes the project and construction of a floating zone melting furnace to purification 'and pulling of Silicon slim rods. In the first three chapters bibliographical informations were collected wich made possible the theoretical support, necessary to the development. To be studied, the equipment was subdivided in: mechanical system, of control and of heating. In the 4th and 5 th chapters, its discussed, respectively, the choices of materials and components wich are utilized and the obtained results. In the 6 th chapter, it's showed the viability of the utilization of motors, materials and elements of national machine. The conclusion is that the utilization of controlled atmosphere chamber, with simple circuit of chilling, to the purification process is adequate. The power losses in the heating system by R.F. can be minimized with the using of isolated copper rods, instead of cables. The modular system of the pulling headblocks permits precision of the rod motions and easy maintenance. Finally, the conclusion is, of great importance the utilization of a microprocessor to the control of cylindricity rod displacement and chilling temperaturesMestradoMestre em Engenharia Mecânica[s.n.]Arruda, Antonio Celso Fonseca de, 1948-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia de CampinasPrograma de Pós-Graduação em Engenharia MecânicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASMenezes, Carlos Rezende de1984info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf[169]f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581149MENEZES, Carlos Rezende de. Projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silicio. 1984. [169]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1581149. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/71971Publicação FECporreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-18T02:48:23Zoai::71971Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-18T02:48:23Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false |
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