Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Diniz, José Alexandre, 1964-
Data de Publicação: 1992
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578509
Resumo: Orientador : Peter Jurgen Tatsch
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spelling Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimentoMicroeletrônicaEletrônicaEngenharia elétricaOrientador : Peter Jurgen TatschDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: O principal trabalho desenvolvido foi o projeto, construçao e teste de um forno ( sistema) de processamento térmico rápido ( RTP - RAPID THERMAL PROCESSING), para a utilização em processos de fabricação de circuitos integrados. Como fonte radiante de aquecimento, utilizou-se um conjunto de 11 lâmpadas de tungstênio-halogênio (halógenas) de 1500W/220V, totalizando 16500W de potência. Os capitulos destà dissertação apresentam: no primeiro, o objetivo do trabalho, a motivação para executá-lo, as aplicações e as comparações entre os fornos convencionais e os sistemas RTP. No segundo, os sistemas RTP, com os diferentes tipos de fontes radiantes de calor, os métodos ( termopares e pirômetros ópticos ) para a medição da temperatura dos substratos em processamento térmico rápido e uma análise geral sobre a uniformidade aquecimento nos sistemas. No terceiro, o projeto e montagem de da parte mecânica do forno de RTP, a parte elétrica do equipamento, com uma análise geral do controlador de potência das lâmpadas halógenas. No quarto, o teste e caracterização do forno desenvolvido. No quinto, uma aplicação em processos de fabricação, do tipo recozimento térmico rápido ( RTA RAPID THERMAL ANNEALING ) a baixas temperaturas. No sexto e último as conclusões gerais, as melhorias e os trabalhos futuros sugeridosAbstract: Not informed.MestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Tatsch, Peter Jürgen, 1949-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia ElétricaPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASDiniz, José Alexandre, 1964-19921992-08-21T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf105f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578509DINIZ, José Alexandre. Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento. 1992. 105f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578509. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/50596Publicação FEEporreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2017-02-18T02:05:43Zoai::50596Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2017-02-18T02:05:43Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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